平面陰極特點(diǎn)：
1、 采用獨(dú)特的磁路設(shè)計(jì)，突破傳統(tǒng)模式，更符合磁控濺射的理念。
2、 采用獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以內(nèi)置、外置，更符合使用要求。
3、磁鐵不被冷卻水包圍，減少腐蝕，且保證磁力線的有效曲線分布。
4、獨(dú)特的布?xì)夥绞剑颖Ｄ訛R射的均勻性，其等離子狀態(tài)更加平衡。
5、 更高的濺射率，離子密度更強(qiáng)。
6、 更高的利用率，高達(dá)40%以上。
7、 尺寸范圍：可在300-3000mm區(qū)間，保持一致的均勻性
8、使用范圍：如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等