發(fā)布時(shí)間：2023-02-20
真空法蘭用于活動(dòng)連接部位，或用于真空系統(tǒng)可拆卸部位。因法蘭結(jié)合處的氣密性在真空中至關(guān)重要，所以在機(jī)械加工時(shí)的法蘭光潔度也需要著重考量，如果用顯微鏡去觀察法蘭，其表面上微小的高低起伏甚至凹痕或劃痕，是導(dǎo)致法蘭泄露的“罪魁禍?zhǔn)住?，其漏率可達(dá)10-8Pa·L/s。所以，真空法蘭一般選用不銹鋼或低碳鋼，密封面要求光滑、無裂痕、避免發(fā)生漏氣。
真空法蘭的六種主要形式為：
1.金屬密封法蘭
金屬密封法蘭一般用于壓力低于10-7Pa的超高真空系統(tǒng)，要求密封材料耐200℃以上的高溫烘烤。常用的密封材料有鋁、銅、金等。
2.橡膠密封真空法蘭
普通橡膠密封真空法蘭廣泛用于高、中、低真空金屬系統(tǒng)中。如果用于超高真空系統(tǒng)，則需要用到另外形式的橡膠密封法蘭。
3.氟橡膠超高真空法蘭
氟橡膠超高真空法蘭，顧名思義可用于超高真空系統(tǒng)，它采用氟橡膠密封圈，與導(dǎo)管需要采用雙面焊接，并精加工，減少各類缺陷。
4.雙重橡膠密封法蘭
雙重橡膠密封法蘭主要用于避免橡膠材料的出氣和滲漏影響，以實(shí)現(xiàn)超高真空的獲得。通過中間冷卻槽冷凍橡膠或中間抽真空來達(dá)到降低橡膠出氣和減少滲漏的目的。
5.真空快卸法蘭
真空快卸法蘭主要用于高、中、低真空管路，又分夾緊型和擰緊型，通常用O型橡膠密封圈密封。
6.卡鉗真空法蘭
卡鉗真空法蘭同樣用于高、中、低真空的管路連接，形式上有卡鉗螺釘連接、卡鉗墊塊連接及卡鉗螺栓連接。
